日本KOFLOC 3100系列質(zhì)量流量計-微小流量
應(yīng)用于多個OEM設(shè)備場合，尤其適合微小流量測量
適用于燃?xì)獾蛪毫Α⑿孤y試的低流量、半導(dǎo)體等使用
±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用
可定制0.02-1SCCM微小流量
3100質(zhì)量流量計
量程(N2)
1SCCM-20SLPM、最小0.02-1SCCM
精度
±1.0%FS
重復(fù)性
±0.2%FS
響應(yīng)時間
1秒以內(nèi)
耐壓
1.0Mpa
進(jìn)口最大壓力
O.5Mpa
泄漏率
1*10-8pa·m3/s以下
溫度范圍
5-45℃
濕度范圍
10-90%RH(不能結(jié)露)
材質(zhì)
本體SUS316L
密封圈NBR、PTFE、FKM等
電氣接口
DB9
模擬信號
0-5V輸出
供電
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路連接
標(biāo)配1/4F9
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4
重量
約800g
針腳/顏色
定義
1針腳/棕色
空
2針腳/白色
3針腳/紅色
+15VDC
4針腳/黑色
電源COM
5針腳/黃色
-15VDC
6針腳/灰色
7針腳/綠色
輸出COM
8針腳/蘭色
9針腳/紫色
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口最大壓力5公斤。
五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。